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工业冷水机应用于真空镀膜工艺

文章出处:www.cnchillers.com 人气:发表时间:2019-05-06 10:02

工业冷水机应用于真空镀膜工艺
工业冷水机是一种常用的水循环制冷设备,广泛用于各个领域,比如镀膜工艺。在这里我们来看一下工业冷水机在真空镀膜中的作用。
真空镀膜的工业原理
真空镀膜的工作原理就是膜体在高温真空下蒸发落在工件表面结晶。由于空气对蒸发的膜体分子产生阻力造成碰撞容易使结晶体变得粗糙无光,所以必须在高真空下才能使结晶体细密光亮,如果真空度不高结晶体就会失去光泽结合力也很差。
冷却水在中频磁控溅射靶中的重要性
早期真空镀膜是依靠蒸发体自然散射,结合差工效低光泽差。现在加上中频磁控溅射靶用磁控射靶将膜体的蒸发分子在电场的作用下加速轰击靶材,溅射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜,解决了过去自然蒸发无法加工的膜体品种,如镀钛镀锆等等。
而在中频真空镀膜设备中必须加冷却水,原因是它的频率高电流大。电流在导体流动时有一个集肤效应,电荷会聚集在电导有表面积,这样使电导发热所以采用中孔管做导体中间加水冷却。
另外,在中频真空镀膜设备中圆柱靶也要用水冷却,这是因为,磁控溅射靶在发射时会产生高温会使射枪变形,所以它有一个水套来冷却射枪。
冷却水的保温
基于冷却水在真空镀膜设备中的重要性,所以如何保持冷却水的温度成为关键。那么,如何才能防止冷却水受到机器的影响而导致水温变高呢?通常都需要借助冷水机来实现。济南超能工业冷水机是一种水冷却设备,能提供恒温、恒流、恒压的冷却水设备。其工作原理是先向机内水箱注入一定量的水,通过制冷系统将水冷却,再由水泵将低温冷却水送入需冷却的设备,冷冻水将热量带走后温度升高再回流到水箱,达到冷却的作用。冷却水温可根据要求自动调节,温度可保持在5~30℃,长期使用可节约用水。它的优势就是不受气温和环境的影响,确保冷却水保持在所需温度范围内。
工业冷水机应用于真空镀膜工艺
 
以上就是济南超能关于工业冷水机应用于真空镀膜工艺的相关介绍,希望对大家有所帮助,如需了解更多冷水机信息,敬请关注http://www.sdlsj.com,http://www.cnchillers.com.

 

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